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微控扩散炉系列-01.jpg

微控扩散炉.jpg

主要技术指标

◆ 可配工艺管外径:2〜8英寸

◆ 可配工艺管数量:1〜4管/台

◆ 工作温度范围:400〜1300℃

◆ 单点温度稳定性:600〜1300℃±0.5℃/24h

◆ 最大可控升温速度:15℃/min

◆ 最大降温速度:5℃/min

◆ 恒温区长度及精度:300〜1000mm  

   600〜1300℃±0.5℃


微控扩散炉02.jpg

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